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國(guó)內(nèi)首個(gè)完整硅光工藝流片能力平臺(tái)
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2017年5月對(duì)外發(fā)布
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產(chǎn)業(yè)化公司運(yùn)營(yíng)服務(wù)
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專(zhuān)業(yè)的光子芯片加工中心
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性能達(dá)到國(guó)際代工平臺(tái)水平得到了業(yè)內(nèi)人士的一致認(rèn)可
Products and Services
無(wú)源/有源 MPW 流片服務(wù)
國(guó)內(nèi)首個(gè)完整硅光流片能力平臺(tái)
定制化流片服務(wù)
流片計(jì)劃
微電子所硅光平臺(tái)每年可對(duì)外提供 6-8 次基于 8 英寸 SOI 襯底 130nm工藝節(jié)點(diǎn)的MPW流片服務(wù),工藝模塊包括220 nm/150 nm/70 nm 等深度的無(wú)源器件刻蝕工藝、高速調(diào)制器摻雜工藝、TiN 加熱器工藝、 鍺探測(cè)器外延工藝、硅和鍺的歐姆接觸及金屬互連工藝等。
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面向后摩爾時(shí)代微電子與光電子的發(fā)展需求,中國(guó)科學(xué)院微電子所基于 8 英寸 CMOS 工藝線(xiàn)開(kāi)發(fā)國(guó)內(nèi)首個(gè)具有完整硅光工藝流片能力的 8 英寸硅光 平臺(tái)。
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針對(duì)硅光技術(shù)研發(fā)中材料和工藝的多樣性,平臺(tái)開(kāi)發(fā)了基于厚硅 SOI、 石英襯底、SiN 材料的多種工藝模塊,可為客戶(hù)提供靈活的定制化技術(shù)服 務(wù)。
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2023 年第 4 季度及 2024 年有關(guān) 220nm 頂硅 SOI 有源/無(wú)源 MPW、200nm 氮化 硅 MPW 流片計(jì)劃如下圖所示;石英及厚硅 SOI 等工藝采用定制化流片方式,工 藝方案通過(guò)技術(shù)評(píng)審后即可簽訂合作。
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About us
中科微光子科技（成都）有限公司主要服務(wù)于硅基光電子器件及集成芯片的制備和測(cè)試等技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化，廣泛面向光通信、數(shù)據(jù)中心、光量子計(jì)算、激光雷達(dá)、微波光子、生物傳感等應(yīng)用領(lǐng)域。公司由中科芯未來(lái)微電子科技成都有限公司、成都中科光子科技合伙企業(yè)（有限合伙）共同組建，位于成都市雙流區(qū)芯谷產(chǎn)業(yè)園。平臺(tái)立志成為專(zhuān)業(yè)的光子芯片加工中心，為國(guó)內(nèi)外硅光技術(shù)研發(fā)和硅光產(chǎn)品開(kāi)發(fā)提供先進(jìn)的工藝支持。
國(guó)內(nèi)首個(gè)完整硅光工藝流片能力平臺(tái)
2017年5月對(duì)外發(fā)布
產(chǎn)業(yè)化公司運(yùn)營(yíng)服務(wù)
專(zhuān)業(yè)的光子芯片加工中心
性能達(dá)到國(guó)際代工平臺(tái)水平得到了業(yè)內(nèi)人士的一致認(rèn)可
